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Die Deflektometriemesstechnik basiert auf der Reflexion regelmässiger geometrischer Bildmuster auf der zu messenden Objektoberfläche. Die Topographie der Objektoberfläche führt dabei zu einer Verzerrung der reflektierten Bildmuster. Diese Verzerrungen werden mit einer Kamera detektiert und geben Aufschluss über den lokalen Oberflächenwinkel. Die hieraus gewonnenen Daten können als Oberflächengradient (Winkel), lokale Krümmung, oder auch als 3D-Form berechnet werden. Der Messaufbau besteht im Wesentlichen aus einem LCD-Monitor, auf dem verschiedene Bildmuster mit geraden Streifen als Koordinatenebene dargestellt werden. Das Verfahren zeichnet sich durch eine sehr hohe Auflösung aus (Nanometer-Bereich) und ist robust gegen Vibrationen, sodass in der Regel kein optischer Tisch benötigt wird. Für Spezialanwendungen wird zusätzlich ein konfokaler Abstandssensor eingebaut, sodass abhängig vom Messfeld eine Absolutgenauigkeit der Oberflächenform von bis zu 100nm erreicht werden kann. Das System beinhaltet eine intuitiv bedienbare Softwareoberfläche, die es dem Nutzer erlaubt, direkt die relevanten Daten einer optischen Oberfläche, beispielsweise die Dioptriezahl, zu ermitteln oder Schnitte zu legen.

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